В России произведены первые лазеры для литографииМинпромторг заявил 26 сентября, что на предприятии ГК «Лассард» были
произведены первые опытные образцы эксимерного лазера, который является ключевым для литографического процесса изготовления микроэлектроники с нормами проектирования вплоть до 65 нм.
https://www.tadviser.ru/a/631397