По существу. Для создания собственной индустрии микроэлектроники причем прорывной необходимы создание литографическоготоборудования.
Что сделано: размещен конкурс госзакупки 17 мая 2013 года
http://2007.fcpir.ru…px?Id=5680"Лот № 1. 2013-1.3-14-513-0052. Исследование принципов и разработка технологий для создания установок передовой нано-литографии."
Кто выиграл, и за что спрашивать: протокол заседания от 3 июня 2013 по результатам конкурса
http://2007.fcpir.ru…px?Id=58401. Развитие методов создания прецизионной изображающей оптики на основе многослойных зеркал и свободновисящих фильтров для проекционной нанолитографии следующего поколения (EUV и BEUV диапазон)
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики микроструктур Российской академии наук
603950, Нижегородская обл., Нижний Новгород г.
2. Исследование принципов интерференционной, ближнепольной и трехмерной лазерной нано-литографии
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт прикладной физики Российской академии наук
603950, Нижегородская обл., Нижний Новгород г., Ульянова ул., 46
3. Исследование принципов и разработка технологий для создания установок передовой оптико-электронной голографической нанолитографии»
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э.Баумана"
105005, Москва г., Бауманская 2-я ул., 5,стр.
4. Разработка научно-технических основ дальнеполевой оптической спектроскопии нанообъектов применительно к диагностике загрязнений и дефектов литографической маски
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт спектроскопии Российской академии наук
142190, Москва г., Троицк г., ИСАН
5. Исследование источников излучения на 6,7 нм для следующего поколения коротковолновой проекционной нанолитографии
Общество с ограниченной ответственностью «ЭУФ Лабс»
142190, Москва г., Троицк г., Сиреневый б-р., 1