21 ноя, 21:28СИРИУС /Федеральная территория/, 21 ноября. /ТАСС/.
Коллаборация российских коллективов за два-три года сможет создать рентгеновский литограф для производства современных чипов. Об этом сказал в понедельник научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ), академик Александр Сергеев на сессии XII Международного форума "Атомэкспо" "Трансфер технологий из фундаментальной науки: перспективы в меняющемся мире", модератором которой выступил руководитель редакции "Наука" ТАСС Андрей Резниченко.
Академик отметил отставание России в микроэлектронике и отсутствие в стране рентгеновских литографов, позволяющих производить чипы с нанометровым топологическим размером. По его словам, для обретения технологического суверенитета необходимо иметь это технологическое оборудование высокого класса.
"В рамках НЦФМ коллаборация, которую мы хотим предложить, может разработать в течение двух-трех лет такой литограф", - сказал Сергеев.
Мировым лидером в этой сфере является компания AMSL. В ее устройствах лазер испаряет олово. Рентгеновское излучение получившейся плазмы используется для фотолитографии.
"Только эта компания производит соответствующие рентгеновские литографы, мы предлагаем с помощью наших технологий разработать альтернативу, мы будем использовать для фокусировки этого излучения рентгеновские зеркала, которые разработаны в институте прикладной физики РАН и в Федеральном ядерном центре в Сарове, а также разработки института им. Седакова. Если соединить эти три разработки, то мы получим литографическую систему с мощностью, которая в разы превосходит те, что делает AMSL", - заявил академик Сергеев. Он предложил ГК "Росатом" принять участие в коллаборации.
ТАСС