Цитата: DeC от 17.09.2023 13:10:27— Ну, не продаёте и ладно — сказал Китай, и вместо станков, делающих чипы по EUV-литографии, решил строить сразу завод EUV, основанный на технологическом прорыве, достигнутом университетом Tsinghua.
Вкратце там будет ускоритель частиц, который будет "отводить" их потоки на отдельные рабочие места, где уже будут "прожигаться" чипы.
Вот тут видео с разбором, оно на китайском, но есть английские субтитры.
Что-то сомнительная штука. Скорее, это чисто исследовательская хрень. Потому что ускоритель сам по себе много разогнанных частиц не даст. А что даст - частицу для непосредственного "прожигания" чипа не поиспользуешь. А вот энергию её торможения, перешедшую в квант жёсткого рентгена - можно.
Но то такое - ещё пару десятков лет пахать, чтобы что-то путное вышло. Наши для перспективных литографов выбрали длину волны 11.24 нм (источник на основе ксенона), а не на основе олова, как когда-то делали для ASML (13.5нм). Китайцы, видимо, решили сразу идти на ещё более короткую волну - но это на следующие пару десятков лет научных работ.