Цитата: ps_ от 12.11.2024 22:42:44Фотошаблоны делает stepper. Обычно покупается вместе с литографом.
Кстати, я не знаю кто сейчас производит степперы
Фотошаблон производится из файла с описанием топологии изделия. Это просто маска, пропускающая свет где есть дырка и не пропускающая там, где дырки нет. Один фотошаблон -- один слой на кристале для одного изделия. Таких слоев в изделии может быть до нескольких десятков.
Степпер берет шаблон, оптически его уменьшает и "тиражирует" по пластине, сдвигая ее на определенный шаг и засвечивая. Это один из компонент того "сарая", что производит ASML.
И тут вопрос -- каким образом излучение УФ лазера с длиной волны ~100 нм, проходя через маску, создает на кристалле картинку с разрешением несколько нм. Дело в том, что реально на кристалле после прохождения маски из-за диффракции на всей маске создается определенная интерференционная картинка. Т.е. вся маска вносит вклад в каждую точку результирующей засветки, которая представляете собой интерференционную картинку. И создание фотошаблона -- это создание таких масок, проходя через которую картинка на кристалле будет представлять собой требуемую топологию. Достаточно сложная вычислительная задача и не только лишь все... TMSC из тех, кто умеет и ASML к этому никакого отношения.